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凈化車間的高精三恒系統(tǒng)控制措施
來源：qxkjw.com 發(fā)布時間：2019年07月29日

我的介紹。

高精度恒溫恒濕空調(diào)技術(shù)相對成熟，但對高水平的無塵車間來說是一個缺乏實踐和經(jīng)驗的課題。由于需要保持較高的潔凈度，通風比常規(guī)空調(diào)房間大得多，使得潔凈室的高精度恒溫恒濕控制具有獨特之處。

為了滿足高水平、高精度的技術(shù)指標，保持良好的系統(tǒng)調(diào)整質(zhì)量，還需要考慮降低初始投資和日常運營費用等經(jīng)濟因素，使設(shè)計更加困難。本文以實際工程為例，從設(shè)計、安裝、調(diào)試的全過程，介紹了綜合解決上述問題所采取的相應措施和解決方案，以及最終的實際效果。

2. 高精度恒溫恒濕無塵車間的技術(shù)要求及設(shè)計方案

電子部某研究所恒溫恒濕潔凈室主要技術(shù)指標(圖1)如下:

清潔水平:美國聯(lián)邦標準FS-209EM3.5(即習慣水平為100)

潔凈室有效空間:2.5m (L)×2.0m (W)×2.5m (H)

室內(nèi)溫度:21±0.1℃

室內(nèi)濕度:Υ55±5%

套間參數(shù):潔凈度為美國聯(lián)邦標準FS-209E M6.5級(即定制的10萬英寸級)，溫度為25±2℃

由于建筑條件的限制，考慮潔凈室的氣流組織方案只能采用水平平行流動方式。由于氣流方向尺寸較小，截面風速設(shè)計速度為0.28m/s，略低于常規(guī)值和換風量。已高達400AC/h空氣供給墻上覆蓋著一個高效空氣過濾器,和對面墻上是一個風格格柵(如圖1)。滿足所需的空氣供給和通風時間恒定的溫度和濕度精度遠低于所需的通風凈化水平。因此，不可避免地要采用二次回風方案。

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